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当前,行业备受青睐的产品是气相沉积(CVD )硅碳材料,通过硅烷、碳氢气体依次沉积形成致密结构,首效高,循环好,膨胀低,获得产业界广泛的认可。国内外各大企业积极投入硅基负极材料的应用研发,我公司研发定制的硅烷沉积炉备受关注。近日,福建、宁波等地多家客户到访我公司考察硅烷沉积炉并开展实验,进一步推进产业化发展。
双方在科源窑炉实验室就以下问题展开讨论:
1.设备的气路设计及进气方式的改进;
2.探讨如何优化设备为自动进料系统;
3.焚烧炉在沉积过程中不可或缺的重要作用。
我公司商务及技术人员陪同考察,并就硅烷沉积实验炉操作进行讲解,分享我公司在实验过程中避免闪爆问题的对策,客户对我公司产品性能、生产流程、质量控制体系以及设备先进性给予了高度评价客户,并对于设备也提供了建设性意见。双方会进一步加强合作,实现共赢!
【素材来源:科源窑炉实验室】
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